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厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修-团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。

散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。

影响油扩散泵性能的因素如下。

1、油扩散泵的返流。

2、气体分子的反扩散。

3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。

4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。

扩散泵中的油在加热到沸腾温度(约为200度)后产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸气流中，随着蒸气流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩，由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

1目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的性能也没有考核指标。行业应对提和进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。2泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，-零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。3增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位。出口压力的监控。4规定油量的大值和小值和耗油量如0.5~0.7 g/h等。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。5给出合适的前级泵的容量。6为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。7给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比方便用户选用。8用微机控制运行和故障诊断。9密封处要选高的放气率和透气率小的橡胶圈。10给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽1~10-5pa以下，它比其它高真空泵的-性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚-醚的蒸汽压为10-9~10-10torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10torr或-的压力。

现代的油扩散泵在泵入口处，泵油的返流已降至大约室温下泵油蒸发速率的水平。

只有在使用时遵守一定的操作规程，才能-系统的正常工作。前已详细叙述过有关机械泵、扩散泵的操作规程。经人们生产实践，对排气系统，也同样总结出来一套操作规程。以高真空排气系统为例其他真空设备可仿照施行，其操作规程如下：检查真空系统各部分，熟悉系统的气路结构，了解真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接。关闭放气阀门，启动机械泵，对系统进行抽气，并随时用火花检漏器对系统各部分进行检漏。如系全金属系统，则可关闭阀门，用真空计读数记下p-t曲线作静态升压试验。如压强随时间呈-，可断定系统有漏气源，应进行检漏。当系统真空度达到油扩散泵的前置压强5×10-2托后，启动扩散泵，使加热电流逐渐升到额定佳值。在启动扩散泵前，必须先开冷却水。扩散泵正常工作后，用火花检漏器或热偶计判断量测系统的真空度。到10-3托以上热偶计近满偏或95格以上才能使用电离真空计。使用时先对规管除气，后测量真空度。

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